顕微鏡用オートフォーカス装置

　　　　　　　　　　・　　顕微鏡用表面検出型オートフォーカス装置（オリジナル技術）の開発・販売。

　　　　　　　　　　・　　光線追跡計算（オリジナル計算式）よる各種光学系の評価・設計。

　　　　　　　　　　・　　無電源・太陽光不要・３色に点滅するデリミネータ（オリジナル技術）の開発・販売。

　　　　　　　　　　・　　押水方式・ラン専用自動潅水装置（オリジナル技術）の開発・販売。　　　　　　　　　　　　

　　　　　　　　　　・　　ＣＥＬＬＯ用微調節ペッグ（オリジナル技術）の開発・販売。　　　　　　　　　　　　

　　　　　・　円・楕円・放物・シリンドリカル・任意曲線回転面　等の各凹凸面．

　　　　　・　各種プリズム・グレーティング (平面、凹面、ホログラフィック）．

　　　　　・　干渉光学系・マルチレンズ照明光学系・特殊形状センサ．

　　　　　・　各種ＡＦ光学系や特殊光学系のシミュレーション．

　　　　　　　　　　　　その他、オプトメカトロニクス機器の開発．　

　　　　　　　　　　　　　　　　　　[TTL(Through The Lens)位置検出器]

　　　　ＰＣＡＦシリーズ

PCAF-20　標準タイプ

　用途：　　一　　般

PCAF-30　表面検出タイプ（従来にない性能）

　用途：　液晶・FPD・多層ICウエハー

PCAF-40　中間層検出タイプ（従来にない性能）

　用途：　積層薄板ガラス基板

　　液晶合わせ薄板ガラスの中間層の検出

PCAF-50　最下面検出タイプ（従来にない性能）

　用途：精密レーザー加工機・ガラス基板

ＰＣＡＦシリーズは「光学ヘッド」「コンソール」「コントロールボックス」「駆動パルスモーター」で構成され、

「光学ヘッド」は、対物レンズと落射ユニットの間に取り付けます。従って、基本的には無限遠補正の

顕微鏡で使用します。また、「駆動パルスモーター」は市販顕微鏡の微動ハンドル（ステージ上下移動調整ノブ）

ＲＳ-２３２Ｃ　により、ホストコンピューターからコマンドで　ＡＦ操作できる機能が標準装備されています。

ＰＣＡＦシリーズは、他に類を見ない優れた性能を持ちながら、アクティブ方式　ＡＦ（自ら光を発生する方式で、

ワークにパターンが無くても検出可能）としてリーズナブルな価格を設定しています。

従来方式のＡＦで焦点誤差が発生する悩みをお持ちの場合は，是非、ＰＣＡＦシリーズをご検討ください。

　ＡＦ光源：　レーザーダイオード[660nm(780nm),3mW]

　　対応顕微鏡：　オリンパス製、　ニコン製, 　各種特殊鏡筒

　　対物レンズ倍率：　5×,　10×,　20×,　50×,　100×

　　再　現　精　度：　焦点深度以下

　　応答速度：10×:1.7秒,　　50×:2.2秒　（合焦位置より2mm隔たった位置からの所用時間）

　　　　　　　リアルタイムＡＦ制御時はＡＦ完了まで約0.2秒

　　インターフェース：ＲＳ-２３２Ｃ　[コントロール用]